窒化アルミニウムなど高脆性材料のザグリ加工で安定した研削性能を実現

【課題】
半導体製造装置の治具などに使用される硬質脆性材料である窒化アルミニウム(AlN)などのセラミックスのザグリ加工などにおいて、安定した研削性能が求められています。


【解決策】
当社のセラミックス加工用メタルボンドの硬く脆いボンド特性に、低電流値で切れ味を向上させ、安定した研削性能が発揮できるボンドMF560を開発しました。
従来ボンドと比較して研削抵抗を下げて安定した研削加工が可能です。


ザグリ加工用の軸付きホイール以外にも、輪郭加工用のストレートホイールも高いパフォーマンを発揮します。
また、平面加工用には電着カップホイールをご提案いたします。

窒化アルミニウムなど高脆性材料のザグリ加工で安定した研削性能を実現 画像 窒化アルミニウムなど高脆性材料のザグリ加工で安定した研削性能を実現 画像
  • 当社メタルボンドのタイプ別の窒化アルミニウム加工時の研削比と研削抵抗Fnの相対比較例

    当社メタルボンドのタイプ別の窒化アルミニウム加工時の研削比と研削抵抗Fnの相対比較例 画像
  • 新開発のメタルボンドMF560は、高脆性材料加工時において、他のメタルボンドに比べ、より切れ味を重視することで安定した加工を実現します。

使用工具

硬質脆性材料加工用 メタルボンド軸付きホイール

硬質脆性材料の加工において、MF560 ボンドは硬く脆い性質を有し、食いつき性と適度な目替わりを特長にしており、従来ボンドと比較して安定した研削性能を発揮します。
精密部品の内面研削、ガラス、セラミックス、カーボン、フェライト、貴石の精密加工向けのホイールです。