シリコンウェーハ向け仕上げ用ノッチホイールの長寿命化

【シリコンウェーハのノッチ部加工の課題】

シリコンウェーハのノッチ部への品質要求が年々高まっており、ノッチホイール用砥粒の高番手化が進んでいます。 #3000など高番手砥粒を使用したノッチホイールの高寿命化が課題です。

【メタルボンドノッチホイールで解決】

砥粒の高番手化により寿命が短くなる傾向ですが、ノッチホイールでボンドの硬度と強度を改善する事によって寿命向上を実現。また、独自のドレッシング技術AD-C の採用により、更なる寿命改善が可能です。
化合物半導体含め各種ウェーハに対応したノッチホイールを提供する事ができます。

また、シリコンウェーハ用の面取りホイール、ノッチホイールの高精度化にも取り組んでおります。