シリコンウェーハ向け仕上げ用ノッチホイールの長寿命化

【課題】
シリコンウェーハのノッチ部への品質要求が年々高まっており、ノッチホイール用砥粒の高番手化が進んでいます。 #3000など高番手砥粒を使用したノッチホイールの高寿命化が課題です。


【解決策】
砥粒の高番手化により寿命が短くなる傾向ですが、ノッチホイールでボンドの硬度と強度を改善する事によって寿命向上を実現。また、独自のドレッシング技術AD-C の採用により、更なる寿命改善が可能です。


加工物半導体含め各種ウェーハに対応したノッチホイールを提供する事ができます。


また、シリコンウェーハ用の面取りホイール、ノッチホイールの高精度化にも取り組んでおります。

シリコンウェーハ向け仕上げ用ノッチホイールの長寿命化 画像 シリコンウェーハ向け仕上げ用ノッチホイールの長寿命化 画像
  • 従来仕様品との寿命比較テスト

    従来仕様品との寿命比較テスト 画像
  • 従来ボンド+スティック汎用ドレスと比較して、新ボンド+独自ドレス(AD-C)によって、特に#3000において大幅な寿命向上を達成しました。

使用工具

半導体ウェーハ用 メタルボンドノッチホイール

【製作可能範囲】
 粒度仕様: #400〜#3000
 外 径 : 〜4D(最小部径2D)
 軸 径 : h6公差
 全 長 : 〜35L
 振れ精度: ≦5um@Min.
 溝形形状: 公差≧1度@開口角
 溝段数 : 〜5溝

半導体ウェーハの高精度なノッチ研削に用いられるホイールです。独自の加工技術によって、シャンクに対するダイヤ部の振れ精度が良好です。溝形状を最適化したサファイアウェーハ用やミラー面取り対応など、各種仕様のホイールを提供します。