石英・セラミックスへのマルチ総形溝入れ加工

【課題】
石英・セラミックス等の硬脆性材料への総形加工では、ホイールの形状維持性を優先してメタルボンドホイールや電着ホイールが用いられるのが一般的ですが、硬く弾性のないボンドのため、総形・溝加工のようなプランジ研削だとワークにカケ・チッピングが発生しやすいという問題がありました。特に複数枚のホイールを使用するマルチでの加工では、研削負荷が上がり振動が発生しやすくカケ・チッピングを誘発し安定した加工が困難でした。


【解決策】
樹脂と金属の複合レジンボンドホイールである”MB”シリーズを総形加工に使用することで、カケ・チッピングの発生が改善。従来のレジンボンドと比較すると高い形状維持性も有しており、メタルボンドより研削持続性もあり、同じ加工品位の電着ホイールに比べて高寿命で使用できます。
より硬質なSiCなどのセラミックスには、同様に樹脂と金属の複合レジンボンドホイールで樹脂比率が高い"BDH"耐熱レジンボンドを使用することで、研削性をより確保できます。

石英・セラミックスへのマルチ総形溝入れ加工 画像
  • マルチ溝入れ加工のイメージ

    マルチ溝入れ加工のイメージ 画像
  • 【採用事例】
    半導体製造装置用部材(ウェーハボート、洗浄治具等)の加工

    石英・セラミックスへのマルチ総形溝入れ加工


    【特徴】
    ■石英・セラミックス等の硬脆性材料の総形溝入れ加工に最適
    ■カケ・チッピングの発生を抑制
    ■従来レジンボンドより形状維持性が高い
    ■メタルボンドより研削持続性が高い
    ■同等加工品位の電着ボンドより高寿命

使用工具

総形加工用 ダイヤモンド/ CBNホイール

ファインセラミックス、石英その他硬質脆性材料やハイス鋼などの総形・溝加工やガラス基板の面取りに用いられるホイールです。

“MB”ボンドシリーズは、耐熱樹脂と金属フィラーを使用した形状維持性の高いレジンボンドホイールです。切込量の大きな重研削加工で高い切れ味と高い形状維持性を有します。また、放電加工による成形が可能なため、通常では難しい異形状の砥粒層を形成することが可能なため、プランジ研削での総形加工に非常に適したボンドです。
“MB”ボンドシリーズは、ダイヤモンド/CBNホイール両方で効果の発揮できるボンドです。
ダイヤモンドホイールは、石英やセラミックス・超硬合金の総形加工に適しています。
CBNホイールはハイス刃物の加工、精度が必要な鉄系機械部品の総形加工に適しています。耐熱性があり重研削加工が可能なホイールのため、ホイールを複数枚組み合わせたマルチホイールでの総形加工の実績もございます。