長寿命PCDドリルによるシリコンへの小径・多数穴の連続穴加工

【課題】
シリコンへの小径・多数穴の連続穴加工において、超硬工具やダイヤモンド電着工具では寿命が短く、単結晶ダイヤモンドドリルでは切粉の排出性が悪く頻繁にステップを入れる必要があり、加工時間が掛かっていた。



【解決策】
スパイラル溝を配した高寿命PCD素材を使用したPCDドリル(多結晶ダイヤモンドドリル)を開発。
ステップを減らし、シャープな切れ刃による高送り条件にも対応できるようになり加工時間を短縮。
最適材種のPCDを選定することで他社と比較して高寿命、9,000穴以上の連続加工が可能となった。
また、シャープな切れ刃により穴内面の表面品質も高い品質を実現した。

長寿命PCDドリルによるシリコンへの小径・多数穴の連続穴加工 画像 長寿命PCDドリルによるシリコンへの小径・多数穴の連続穴加工 画像
  • 従来PCD小径ドリルとの寿命比較

    従来PCD小径ドリルとの寿命比較 画像
  • テスト条件

    加工機:立形マシニングセンタ

    切削油:エマルジョン

    被削材:単結晶シリコン

    工具径:φ0.45

    回転数:15,000min-1

    穴深さ:5mm

使用工具

PCD小径ドリル/多結晶ダイヤモンド小径ドリル

工具先端刃部:PCD(多結晶ダイヤモンド)
刃径:φ0.4~φ2
全長:~51mm
首下長:~14mm
シャンク径:φ3/φ3.175/φ4
  • ■単結晶シリコン・多結晶シリコンへの小径・連続穴加工に最適です。
  • ■シャープな切れ刃で高送り条件にも対応
  • ■最適素材の選定とシャープな切れ刃の形成により高寿命を達成。
  • ■シリコン以外に、石英・各種ガラス材への適用も可能。硬質樹脂・セラミックス生材(焼成前)等への適用もテスト中。